Les techniques spectroscopiques utilisées ici sont globalement basées sur l’utilisation des phénomènes d’interactions rayonnement / matière à la surface des matériaux.
Un faisceau incident (très généralement : photons, électrons ou ions) interagit avec la surface de l’échantillon à analyser et induit différents processus qui engendrent un faisceau « modifié » suite à son interaction avec la matière.
L’analyse fine de ce faisceau permet alors de remonter à des informations sur la nature physique et/ou chimique de la surface sondée : par exemple : nature des éléments chimiques, environnements de liaisons, quantification chimique, propriétés optiques, contraintes, mesures d’épaisseurs, etc.
Ces techniques sont dites « de surfaces » : épaisseur sondée de quelques nanomètres à quelques micromètres, dépendant bien sûr de chaque technique et de son mode d’utilisation.
Plus précisément, les moyens de caractérisation disponibles sur la FMNT sont :
- La spectroscopie XPS : équipement IMPACTX LTM
- La spectroscopie Ellipsométrique : équipement IMPACT Ellipso LTM
- La spectroscopie Raman : équipements Labram LMGP, IMPACT_Raman LTM
- La spectroscopie par Photoluminescence (PL) : équipements IMPACT_PL LTM
- La spectroscopie FTIR : équipements Vertex 70 et Vertex 70V LMGP
- La spectroscopie UV-VIS –NIR : équipements Perkin Elmer Lambda 35 (Standard) et Lambda 950 (hautes performances) LMGP
Voici quelques exemples d’applications de ces techniques :
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