MEMS / NEMS

Liste des équipements :
Banc de caractérisation de matériaux et composants piezoélectriques
Banc de caractérisation micro/nanofluidique
Pot vibrant asservi avec réplicateur de signaux
Pot vibrant asservi
Système sous pointes basses fréquences avec caméra et logiciel d'acquisition + détection synchrone + impédancemètre + profilomètre
Interféromètre / vélocimètre laser différentiel avec table XYZ micrométrique motorisée