MEMS / NEMS
Mis à jour le 3 avril 2017
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Liste des équipements :
Banc de caractérisation de matériaux et composants piezoélectriques
Banc de caractérisation micro/nanofluidique
Pot vibrant asservi avec réplicateur de signaux
Pot vibrant asservi
Système sous pointes basses fréquences avec caméra et logiciel d'acquisition + détection synchrone + impédancemètre + profilomètre
Interféromètre / vélocimètre laser différentiel avec table XYZ micrométrique motorisée
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